一般的真空電子束焊機由五部分組成。

首先是電子槍部分，這是核心，重要的部分；
其次，真空部分包括真空室和一系列真空泵組，這是電子束焊接效率降低的原因，因為真空抽氣時(shí)間長(cháng)且缺乏其他焊接方法；
三，機械傳動(dòng)部分，包括一些軸傳動(dòng)等。一般的電子束焊接軸分為兩個(gè)軸，三個(gè)軸，四個(gè)軸，五個(gè)軸（x軸，y軸，z軸，a軸）。 （旋轉軸），b軸（轉向軸）），通常，五個(gè)軸足以滿(mǎn)足每個(gè)位置的焊接要求；如果它在移動(dòng)噴槍?zhuān)瑒t還有噴槍的移動(dòng)部件等；
第四，電力系統，無(wú)論是高壓（150kV）還是中壓（60kV），都需要該電力系統；
第五，控制系統是整個(gè)設備運行所要有的系統，它可以是非常原始的DOS系統，也可以是西門(mén)子的840D系統。但這是整個(gè)真空電子束焊機設備可以運行和運行的重要組成部分。
以上五個(gè)部分是必不可少的，但這五個(gè)是核心部分。有些具有其他功能，例如送絲系統等。