一般的真真空電子束焊機都由五部分組成；
一是，電子槍部分，這個(gè)是中心，也是重要的部件；
二是，真空部分，這個(gè)部分包括真空室以及一系列的真空泵組，這個(gè)部分也就是為什么讓電子束焊接的功率下降的原因，因為抽真空這個(gè)時(shí)間相對于其他的焊接辦法來(lái)說(shuō)卻是一個(gè)長(cháng)處也是一個(gè)缺陷；

三是，機械傳動(dòng)部分，這部分包括一些軸得傳動(dòng)等等，一般的電子束焊接的軸分為二軸，三軸，四軸，五軸（X軸，Y軸，Z軸，A軸（旋轉軸），B軸（翻轉軸）），一般五軸就夠用了，可以滿(mǎn)意各個(gè)地方的焊接；如果是動(dòng)槍的話(huà)，還有槍的運動(dòng)部分等等；
四是，電源體系，不管高壓（150KV）仍是中壓（60KV），都需求這個(gè)電源體系；
五，控制體系，也就是整個(gè)設備運轉所需求的體系，有可能是十分原始的dos體系，也可能是西門(mén)子的840D體系，可是這個(gè)是整個(gè)設備能跑起來(lái)能操作的一個(gè)重要的部分；
以上五個(gè)部分，缺一不可，可是這五個(gè)是真空電子束焊機中心部分。有些帶其他的功能，比方還有送絲體系等等。